四探针电阻仪
四探针电阻仪
| 联系人 | 殷老师 |
| 邮箱 | zjzx@bgi-graphene.com |
| 电话 | 010-834326667 |
| 地址 | 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院中关村翠湖科技园2号楼 |
| 生产厂家 | 美国CDE |
| 型号 | ResMap 178 |
参考收费标准
¥100/样，¥300/h
开放机时安排
主要规格和技术参数
测量尺寸：2~8寸晶圆 ﹡测量速度：大于49点/分钟 ﹡测量范围：1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1 ﹡测量重复性：≤±0.02% ﹡精确度：＜0.1%
主要功能及特色
测薄膜的导电性
主要附件及配置
玻璃、硅片等镀膜材料
关闭
电学探针台
电学探针台
| 联系人 | 殷老师 |
| 邮箱 | zjzx@bgi-graphene.com |
| 电话 | 010-834326667 |
| 地址 | 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院中关村翠湖科技园2号楼 |
| 生产厂家 | 仪准 |
| 型号 | PW-800 |
参考收费标准
¥400/h
开放机时安排
主要规格和技术参数
夹盘尺寸：200mm ﹡探针XY电动移动行程：200mm ﹡显微镜XYZ移动范围：2"×2"×2" ﹡显微镜放大倍数：20×，100×，200×
主要功能及特色
通过微探针连接到芯片并引出所需信号，用于电学特性测试。
主要附件及配置
关闭
半导体特性分析系统
半导体特性分析系统
| 联系人 | 殷老师 |
| 邮箱 | zjzx@bgi-graphene.com |
| 电话 | 010-834326667 |
| 地址 | 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院中关村翠湖科技园2号楼 |
| 生产厂家 | 美国Tektronix Keithley |
| 型号 | 4200A-SCS |
参考收费标准
¥400/h
开放机时安排
主要规格和技术参数
直流电流-电压(I-V)范围：10aA-1A，0.2µV-210V
主要功能及特色
使用4200A-SCS加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 最高性能参数分析仪，提供同步电流-电压(I-V)测量
主要附件及配置
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四探针半导体电学测量系统（化学院A417）
四探针半导体电学测量系统（化学院A417）
| 联系人 | 殷老师 |
| 邮箱 | zjzx@bgi-graphene.com |
| 电话 | 010-83432666 |
| 地址 | 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院中关村翠湖科技园2号楼 |
| 生产厂家 | keithley |
| 型号 | 4200-SCS |
参考收费标准
开放机时安排
主要规格和技术参数
电流范围：0.1fA-1A，电压范围：1μV-200V，功率：20W。
主要功能及特色
研究超微弱电流测试，可对两端电阻、整流等器件、三端、四端MOSFET等器件进行I-V测试。
主要附件及配置
结合微探针台可以直接测量各种微电子器件的各种电学输运性质。
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